Бевза, О.М.; Сидоренко, С.Б.; Мумладзе, А.В.
(Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 2016)
При разработке магнетронной распылительной системы для осаждения двухкомпонентной плёнки заданного состава с одного источника, где один из компонентов — магнитный материал, необходимо решить ряд задач: разработать конструкцию ...